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單晶硅基材

發布時間：2021-01-25 14:03:02 人氣：3327

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4微米叉指電極單晶硅光電檢測氣體濕度生物傳感器芯片MEMS工藝IDE	8μm單晶硅叉指電極高精度高穩定性化學氣體生物傳感器光電檢測	30 μm硅基叉指電極高精度高穩定性MEMS氣體生物傳感器電容陣列
3 μm硅基叉指電極電容陣列氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度	10μm硅基二氧化硅叉指電極高精度MEMS氣體生物傳感器光電檢測	20μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測高穩定性
3μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測高穩定性	10μm硅基叉指電極高精度高穩定性MEMS氣體生物傳感器光電檢測	20μm叉指金電極單晶硅基電容陣列高精度科研生物傳感器芯片MEMS
30微米單晶硅叉指電極光電檢測氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度	5 μm硅基叉指電極電容陣列氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度	2 μm硅基叉指電極氣體光學濕度醫療生物傳感器芯片MEMS高精度

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