3μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測(cè)高穩(wěn)定性
| 【編號(hào)】BK2021012608 | 【CAS號(hào)】cas | ||
| 【貨號(hào)】BK2021012608 | 【規(guī)格】 | ||
|
|||
| 價(jià)格： 登錄查看 | |||
 |
 |
1.外形尺寸:6.5mm*4mm*0.52mm.
2．線(xiàn)寬:5 u m，線(xiàn)距:3 u m，指長(zhǎng):1.6mm，叉指對(duì)數(shù):75(150指).
3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長(zhǎng)二氧化硅，厚度為300nm;
4．金屬層結(jié)構(gòu):Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍: -150℃～500℃;
6．主要用于各類(lèi)化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7．量大價(jià)格從優(yōu)。
留言咨詢(xún)
|
| 溫馨提示：蘇州北科納米供應(yīng)產(chǎn)品僅用于科研，不能用于人體,不同批次產(chǎn)品規(guī)格性能有差異。網(wǎng)站部分文獻(xiàn)案例圖片源自互聯(lián)網(wǎng)，圖片僅供參考，請(qǐng)以實(shí)物為主，如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們立即刪除。
提示說(shuō)明：納米材料工藝和制備可能會(huì)有改變 所有納米材料均支持按需定制 下單前聯(lián)系客服確認(rèn)產(chǎn)品詳細(xì)信息。 |
暫無(wú)視頻
上一款： 沒(méi)有了...
