5 μm硅基叉指電極電容陣列氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度
| 【編號(hào)】BK2021012611 | 【CAS號(hào)】cas | ||
| 【貨號(hào)】BK2021012611 | 【規(guī)格】 | ||
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| 價(jià)格： 登錄查看 | |||
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5微米硅基二氧化硅叉指金電極光電檢測(cè)傳感器芯片MEMS高精度
1.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長(zhǎng)二氧化硅，厚度為300nm;外形尺寸:
4mm*6mm*0.52mm.
2．線寬:5u m，線距:5um，指長(zhǎng): 1.5mm，叉指對(duì)數(shù): 120(240指).
3．金屬層結(jié)構(gòu):Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
4.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃ ;
5.主要用于各類化學(xué)，物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。
6.量大價(jià)格從優(yōu)。
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1.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長(zhǎng)二氧化硅，厚度為300nm;外形尺寸:
4mm*6mm*0.52mm.
2．線寬:5u m，線距:5um，指長(zhǎng): 1.5mm，叉指對(duì)數(shù): 120(240指).
3．金屬層結(jié)構(gòu):Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
4.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃ ;
5.主要用于各類化學(xué)，物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。
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我們提供各種叉指電極。包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝(厚膜工藝，DPC工藝，MEMS工藝）。
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