10μm硅基二氧化硅叉指電極高精度MEMS氣體生物傳感器光電檢測
| 【編號】BK2021012605 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012605 | 【規格】 | ||
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1．外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬: 10um，線距:10um，指長: 1.5mm，叉指對數:60(120指).
3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長 siO2，厚度為300nm;
4.金屬層結構:Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5．電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
6．主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。
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