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10μm硅基叉指電極高精度高穩(wěn)定性MEMS氣體生物傳感器光電檢測

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【編號】BK2021012607 【CAS號】cas
【貨號】BK2021012607 【規(guī)格】
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1.外形尺寸:4mm*6.5mm*0.52mm.

2.線寬:10 u m,線距:10 u m,指長: 1.6mm,叉指對數(shù):50(100指).

3.電極襯底為單晶硅,硅片表面生長二氧化硅,厚度為300nm;

4.金屬層結(jié)構(gòu):Ti/Au,厚度分別為30nm,100nm;

5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;

6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器,性能可靠,質(zhì)量穩(wěn)定。






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