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50μm透明叉指電極石英玻璃電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測

50μm透明叉指電極石英玻璃電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測

【編號】BK2021012711 【CAS號】cas
【貨號】BK2021012711 【規格】
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50微米透明叉指電極石英玻璃氣體濕度生物傳感器芯片MEMS
1.外形尺寸:5mm*8mm*0.7mm.
2.線寬: 50um,線距: 50um,指長:2.1mm,叉指對數:20(40指).3.電極襯底為石英玻璃,雙面拋光,全透明;
4.金屬層結構:Cr/Au,厚度分別為30nm,100nm;5.電極使用溫度范圍:-150℃~400℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫療傳感器,性能可靠,質量穩定。7.量大價格從優。

我們提供各種叉指電極,包括不同形狀,不同尺寸,不同線寬線距,不同基材(氧化鋁陶瓷,PI/PET柔性材料,單晶硅),不同工藝(厚膜工藝,PCB工藝,MEMS工藝)。




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