150μm大尺寸叉指電極陶瓷電容陣列氣體濕度生物傳感器芯片10X20
| 【編號】BK2021012505 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012505 | 【規(guī)格】 | ||
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1、基材:氧化鋁陶瓷;外形尺寸:20mm*10mm。
2、線寬:100 um，線間距:150 u m，指長:6.3mm。叉指對數(shù):20對（40指)。
3、金屬層結(jié)構(gòu):Ti/Cu/Ni/Au，厚度分別為:0.1 u m、2u m、1 u m、1 u m。
4、適用溫度:-150℃~350℃。
5、大尺寸，大焊盤，更容易實驗操作和觀察。我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅），不同工藝（厚膜工藝，DPC工藝，MEMS 工藝)。
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